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8編 集積化センサとマイクロマシン
10群8編 集積化センサとマイクロマシン
[更新履歴]
編主任
鈴木健一郎(立命館大)
編幹事
木股雅章(立命館大)
編幹事
鈴木美彦(株式会社ニコン)
編幹事
池原 毅(産総研)
全体概要
1章 MEMS技術の基礎
鈴木健一郎(立命館大)
2章 圧力センサ
池原 毅(産総研)
概要
2-1 圧力の計測
2-2 受圧構造
2-3 変形検出の方法
2-4 パッケージング
2-5 圧力センサの設計
2-6 圧力センサの応用
2-7 最近の研究動向
3章 MEMS加速度センサ
鈴木健一郎(立命館大)
概要
3-1 はじめに
3-2 サイズモ系(強制外力荷重の場合の機械モデル)
3-3 加速度センサ
3-4 変位計測
3-5 加速度センサの例
3-6 まとめ
補遺3-A 機械システムと電気回路の相似関係
3章演習問題
4章 MEMSジャイロスコープ
鈴木健一郎(立命館大)
概要
4-1 はじめに
4-2 ダブルジンバルモデル
4-3 振動型ジャイロスコープの動作原理
4-4 検出回路
4-5 MEMSジャイロの例
4-6 高感度化のためのデバイス構造設計
4-7 周波数安定度
4-8 まとめ
補遺4-A 回転の角速度が時間変化する場合の検出系の変位
4章演習問題
5章 MEMS共振器
鈴木健一郎(立命館大)
概要
5-1 はじめに
5-2 静電型共振器の一般表現
5-3 振動モード
5-4 BVD(Butterworth-Van Dyke)モデル
5-5 共振周波数
5-6 狭ギャップ効果
5-7 80 MHzねじり振動MEMS共振器
5-8 検出回路
5-9 Q値
5-10 まとめ
補遺5-A 基準振動モードを利用した振動解析(ラグランジュ方程式からの導出)
補遺5-B BVD等価電気回路の周波数依存性
5章演習問題
6章 高周波回路の基礎
鈴木健一郎(立命館大)
概要
6-1 はじめに
6-2 線路パラメータ
6-3 伝送線路を伝搬する電流と電圧
6-4 入力インピーダンス
6-5 インピーダンス整合
6-6 スタブ回路
6-7 散乱行列
6-8 まとめ
補遺6-A TEM波の伝搬
6章演習問題
7章 MEMSスイッチ
鈴木健一郎(立命館大)
概要
7-1 はじめに
7-2 設計理論
7-3 MEMSスイッチの特性
7-4 誘電体薄膜の電荷蓄積
7-5 大電力
7-6 まとめ
補遺7-A スイッチを接続したときの伝送線路のSパラメータ
補遺7-B 並列接続静電容量型スイッチを接続したときの伝送線路のRF電圧
7章演習問題
8章 移相器とアンテナ
鈴木健一郎(立命館大)
概要
8-1 はじめに
8-2 移相器
8-3 アンテナ
8-4 まとめ
補遺8-A 無損失Loaded-line 移相器
8章演習問題
9章 むすび
池原 毅(産総研)
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2編 集積回路製造技術
3編 システムオンチップ技術
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5編 演算・信号処理LSI
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8編 集積化センサとマイクロマシン
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知識ベースのなかから適切なテーマを選りすぐって企画されたものです.内容に関しては新規執筆も含めて,より分かりやすく再編集されています.いわば学会の知の結晶を,皆様により充実した形でお届けするものです.
本シリーズを通じて,電子情報通信の最先端分野の面白さを堪能して頂ければ幸いです.
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